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超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀ERUN-SZ系列 多參數(shù)水質(zhì)
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超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀ERUN-SZ系列

多參數(shù)水質(zhì)
產(chǎn)品描述
贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀參照國際材料試驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》而設(shè)計(jì),電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧含量,半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產(chǎn)、注射用水(WFI)和純化水(PW)系統(tǒng)以及鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)等行業(yè)領(lǐng)域。
ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品產(chǎn)品概述
贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀參照國際材料試驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》而設(shè)計(jì),ERUN-SZ系列電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧含量,ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產(chǎn)、注射用水(WFI)和純化水(PW)系統(tǒng)以及鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)等行業(yè)領(lǐng)域。
超純水電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀超純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀

根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn) ??《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》??,超純水按用途與純度分為7個(gè)等級(jí),每個(gè)等級(jí)對(duì)電阻率和溶解氧均有明確規(guī)定,例如:

類型

電阻率 (MΩ·cm @25℃)

溶解氧 (μg/L)

E-1

18.1

25

E-1.1

18.2

10

E-1.2

18.2

3

E-1.3

18.2

10

E-2

16.5

未要求

E-3

12

未要求

E-4

0.5

未要求

ERUN-SZ系列電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn)
一、超純水電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品特點(diǎn):
測(cè)量精度高??:采用先進(jìn)電極技術(shù)與信號(hào)處理算法,確保電阻率數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠;
??
實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)??:24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)水質(zhì)變化,及時(shí)預(yù)警潛在問題;
??
數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳??:支持 ??4-20mA模擬信號(hào)?? 和 ??RS485 Modbus-RTU協(xié)議??,可與PLC、DCS及中央監(jiān)控系統(tǒng)無縫對(duì)接;
??
適應(yīng)性強(qiáng)??:設(shè)備防護(hù)等級(jí)達(dá) ??IP65??,適用于潔凈室、管道旁路、水箱等復(fù)雜安裝環(huán)境;
??低功耗設(shè)計(jì)??:節(jié)能環(huán)保,長期運(yùn)行穩(wěn)定,降低維護(hù)頻次。

二、超純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品特點(diǎn):

光學(xué)傳感技術(shù)??:采用先進(jìn)熒光猝滅原理,實(shí)現(xiàn) ??ppb(μg/L)級(jí)別?? 的溶解氧檢測(cè);
??高穩(wěn)定性與抗干擾??:不受氣泡、流速及水質(zhì)波動(dòng)影響,確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確;
??實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與報(bào)警??:支持在線實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)展示與異常報(bào)警,便于工藝人員快速響應(yīng);
??
遠(yuǎn)程傳輸與智能管理??:同樣支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通訊協(xié)議,便于集成到智慧水系統(tǒng)中;
??
長效耐用??:IP65防護(hù) + 低功耗設(shè)計(jì),適合長期連續(xù)運(yùn)行。
ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀技術(shù)參數(shù)
一、超純水電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀技術(shù)參數(shù):

電阻測(cè)量范圍:

0.01 電極  50~20000kΩ·cm

0.1  電極   5~20000kΩ·cm

1.0  電極   0.5~20000kΩ·cm

10.0 電極   0.05~20000kΩ·cm(其他量程定做)

電導(dǎo)測(cè)量范圍:

0.01  電極   0~20.00μS·cm

0.1  電極   0~200.0 μS·cm-1

1.0  電極   0~2000  μS·cm-1

10.0 電極 0~20.00 mS·cm-1(其他量程定做)

TDS測(cè)量范圍:

0.01  電極   0~10 ppm

0.1  電極   0~100 ppm

1.0  電極   0~1000 ppm

10.0 電極  0-10000ppm (其他量程定做)

分 辨 率:

0.01kΩ·cm

精    度:

±2.0 %(FS)

自動(dòng)溫度補(bǔ)償:

0~100℃溫補(bǔ)NTC 10K,以25℃為基準(zhǔn),溫補(bǔ)系數(shù)可修正


二、超純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀技術(shù)參數(shù):

量程

0-20μg/L(ppb)

測(cè)量精度

±1% F.S

重復(fù)性

±0.5% F.S

分辨率

0.01μg/L

穩(wěn)定性

±0.5% F.S/24h

工作溫度

0-50℃

溫度精度

±1℃

溫度重復(fù)性

±0.5℃

工作大氣壓力

40-115kPa

最大承受壓力

1000kPa

儲(chǔ)存溫度

-20-70℃


以上就是關(guān)于ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀的相關(guān)介紹,在追求極致純凈的半導(dǎo)體與電子制造領(lǐng)域,??超純水的電阻率和溶解氧必須控制在極低范圍內(nèi)??,選擇高性能電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備,是確保生產(chǎn)工藝穩(wěn)定與產(chǎn)品品質(zhì)的核心環(huán)節(jié)。而贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀??,以高精度、智能化、穩(wěn)定可靠的特性,成為保障水質(zhì)安全、提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率的核心利器。
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